ANELVA-CONON佳能安内华 离子计 M-311HG-SP

2026-09-21 17:53:03 周海峰





离子计(热阴极电离真空计)

M-311HG-SP

M-311HG-RS




10-7 从Pa到10 Pa,不牺牲超高真空侧的特性,可测量至超越溅射工艺的低真空区域
压力值的模拟信号输出响应时间在100毫秒以内,确保了高响应性,也可用于过程压力控制
4种发射电流设置模式





型号离子计
M-311HG-SP M-311HG-RS
压力测量范围1×10-7 ~ 10 Pa
输入电压DC20 ~ 28 V
能耗12 W
模拟输出0 ~ 10 V-
设定点2点继电器输出
接口- RS485
输入输出连接器 Dsub-9(公头)
最大线缆长度 200 m(1 mm2)
使用温度范围 5 ~ 50 ℃
保存温度范围 -20 ~ 70 ℃
传感器型号迷你B-A轨距(MG-2I系列)
传感器材质(主要部分)丝:Y2O3/Ir、外壳:SUS304
外形尺寸(mm)110×70×50
法兰形状NW16, NW25, ICF34, ICF70
对应CE标志、RoHS、IP40



电话咨询
邮件咨询
在线地图
QQ客服