崛场 HORIBA 便携式DO监测仪 SD-300

便携式DO监测仪 SD-300
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
便携式高灵敏度 使用方便，性能高效
概要
对半导体工业用超纯水中的DO进行高精度测量和监测
由于半导体集成程度不断增加，这就要求提高用于晶片清洗作业中的超纯水水质。超纯水中所含有的微量DO (溶解氧)会氧化晶片表面，因此为保证超纯水的高质量，必须严格控制DO含量。HORIBA的SD-300正是其解决方案。利用HORIBA的半导体技术，其可提供高效的纯水管理。SD-300 DO监测仪轻便且可携带。，适合高精度地测量半导体工业用超纯水中的DO含量。

特点
●便携式设计便于在窄小空间操作
小型、便携式、且使用简单。

●高灵敏度的宽量程检测
检测量程可以从0¿20µg/L、0¿200µg/L、0¿2mg/L、0¿20mg/L这4个量程中进行选择。自动/手动量程可以通过开关进行切换。实现了适合量程中的高灵敏度的测量。

●高速响应性
SD-300 DO监测仪具有高速的响应速度(90%在30秒之内)。

●采用平板设计，适合于在洁净室内使用
为了便于操作，采用了平板设计的前面板。
灰尘不会在开关等间隙处积存。
最适合于在洁净室内使用。

●耐用的内部液体交换传感器
传感器是内部液体交换类型易于更换。非常耐用，有利于降低运转成本。

●标准的模拟/串行输出
不仅有模拟输出，还配备了标准的RS-232C输出方式。因此进行现场监测时，用于数据管理的数据可通过RS-232C进行传送 。


■配管连接例

便携式DO监测仪
SD-300
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)


规格 测量对象 溶解氧 原理 隔膜型极谱法 测量量程 0¿20µg/L , 0¿200µg/L , 0¿2mg/L , 0¿20mg/L 响应速度 30s/90%(试料水温度在20℃以上) 反复性 全刻度的±1% 温度补偿 5¿50℃ 试样水条件 温度 2¿50℃ 压力 0.02¿0.2MPa 流量 0.2¿0.4L/min 外部输出 模拟输出 (浓度) DC 4¿20mA 或 DC 0¿16mA 隔离输出 负荷 最大500Ω 接点输出 (警报) 接点A输出　　接点电容 DC24V, 0.1A 串行输出 仅RS-232C输出 校正方法 零点 电校正或者使用零标准液校正 跨度 空气校正(将传感器放在空气中) 环境条件 温度：0¿45℃，湿度：85%以下 电源 85至264 V AC , 50/60Hz 功率 约50VA (于 100 V AC) 外形尺寸 296(W)×110(H)×258(D) mm(仅操作部分) 重量 约3.4kg(仅操作部分) 操作部与传感器间的延长线缆长度 5m(标准), 10m(可选件)





外形尺寸图

(单位：mm)

操作部


传感器/流量单元装置