崛场 HORIBA 低浓度氢氟酸浓度计 HF-96

低浓度氢氟酸浓度计 HF-96
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)

概要
用于半导体清洗工艺的氢氟酸浓度随着设备的设计规则的细微化需要进一步对低浓度进行控制。HF-96采用优良耐蚀性的玻璃碳，可以高精度且稳定地监测低浓度的氢氟酸。
特点
可以测量0.5%或更低的HF浓度
HF：1ppm分辨率(＝0.0001%分辨率)
采用具有良好耐蚀性的玻璃碳做为电极材料
2ch传送信号输出 　可选择并显示氢氟酸浓度/盐酸浓度/导电率/温度中2的两项 4点报警接点
DIN96的小巧尺寸
适合规格：CE标记、FCC
低浓度氢氟酸浓度计
HF-96
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)


规格 型号
HF-96
测量方式
电导率/浓度换算法
测量范围
HF浓度：0¿5000ppm
显示：max9999ppm HCl
浓度：0¿5000ppm 导
电率：0¿50mS/cm
温度：0¿100℃
样品条件
HF：5¿40℃ 压力：0¿0.5MPa
测量项目
1个
再现性
±0.5%F,S,
传送输出
输出项目：2　可在HF浓度、HCl浓度、电导率、和温度之间进行选择 4¿20mA直流电　隔离输入输出型
最大负荷电阻600Ω
控制输出
C接点输出：2点
a接点输出：2点
电容量：DC24V、1Amax(电阻负荷)
校正功能
电导率：输入单位常补正系数(参数输入)
温度：1点温度校正(与参考温度计的比较校正)
HF浓度／HCl浓度：输入已知浓度
附加功能
校正中接点／传送输出 　
连续¿最近前值保持(通过功能设定开关进行选择切换)
各种错误信息 　
(1)传感器诊断错误(温度传感器短路¿断线) 　
(2)测量范围外错误(高于或低于测量范围) 　
(3)系统错误(A/D变频器错误、存储器错误)
参考温度
25℃
温度补偿
HF浓度／HCl浓度：固有温度系数
电导率：(1)0¿5%/℃(可以任意设定) 　　　　
(2)NaCl溶液特性补偿 　　　　
(3)没有温度补偿
温度补偿范围
5¿40℃
温度补偿元件
Pt1000Ω(0℃)
周围温度/湿度
-5¿40℃　85%RH或更低
电源
DC24V　7W
构造
面板固定　室内安装型　　外盒：SUS　面板：ABS
外形尺寸
转换器：96(W)×96(H)×145(D)mm　外盒深度：135mm 检测器：75(W)×38(H)×54(D)mm　不包括突起部分
质量
转换器：约650g 检测器：约300g
检测器
连接：PFA3/4英寸管或者PFA1/4英寸管(以订货时的指定为准) 接液部材料：PFA、玻璃碳、Kalrez
专用电缆线：转换器间距离5m
适合规格
CE标记、FCC