FTIR气体分析仪 FG-100A系列
进一步扩大分析用途
在尺寸大小上为小巧型设计。
单检测池和双检测池最新上市。
概要
FG-100A系列产品是可以对防止地球温暖化而需要削减的温室效应气体、PFCs等各种半导体¿FPD工艺用气体类进行各种分析的FTIR气体分析仪。
该装置力求在现场中完成高效的气体检测、实现大幅小巧化的同时，还备有单检测池类型和双检测池类型两个种类。不仅向检测点的设置¿移动非常简便，而且分析用途也多种多样。
包括最适用于半导体¿FPD工艺气体分析的软件、丰富的程序库以及可移动的采样单元装置在内，把它们作为一个总系统向您推荐。
长达50年之久HORIBA的有关环境气体分析的技术和经验支持着半导体¿FPD工艺的气体监测。
FTIR气体分析仪
FG-100A系列
技术规格
基本型号名称 FG-110A FG-120A 检测原理 FTIR法 检测器 液体氮冷却式MCT 电子冷却式MCT 检测波数范围 标准 ： 5000¿700cm-1
可选项 ： 5000¿600cm-1 标准 ： 5000¿900cm-1 检测池光路长
(检测池容积) 单检测池 ： 0.01m(6.2mL)、0.1m(62mL)、0.8m(220mL)、
2.4m(220mL)、10m(1800mL)
双检测池 ： 0.01m＋2.4m、0.01m＋0.8m、0.1m＋2.4m 检测池窗材质 标准 ： BaF2 可选项 ： ZnSe O型密封圈材质 标准 ： 氟化橡胶 可选项 ： Kalrez 配管的连接 标准 ： 1/4英寸 卡套管接口 可选项 ： 1/4英寸VCR 波数分解能 0.5、1、2、4、8、16(cm-1) 检测周期 大约0.6秒(因检测条件不同而有所差异。) 使用温度范围 10¿30℃ 使用湿度範囲 70％Rh以下 电源 AC100±10V 50/60Hz(国外技术规格另行准备) 消費电力 240VA(2.4m检测池) 250VA(2.4m检测池) 氮气 分析仪清洁用 ： 常时 5L/min左右
校正用 ： 必要时 5L/min左右
氮气条件 ： 纯度 99.99％以上、水分 -30℃饱和以下、不能有粉尘¿烟雾 液体氮 500¿600mL
(保持时间8¿10个小时) - 重量 单检测池类型 ： 40kg(2.4m检测池)
双检测池类型 ： 50kg 适用规格 CE标记、FCC第十五款(A类)
外形寸法图(单位：mm)
单检测池类型
双检测池类型
采样单元装置
FTIR气体分析仪
FG-100A系列
控制单元装置
控制单元装置 FGC-10可实现洁净室内的环境气体监测
能够适用于次ppm级低浓度气体的FG-100A系列气体分析仪和具有浓度显示功能以及输出功能的控制装置进行组合，可以不必使用电脑就能进行洁净室内的连续高灵敏度监测。通过采样线的切换进行多点监测等，可以为您提供建议从而组建各种各样的系统。利用FG-100A系列气体分析仪进行连续高灵敏度监测，可以为半导体¿FPD产业中的EHS(环境¿健康¿安全)做出贡献。
■控制单元装置 (FGC-10)技术规格 用 途 连续监测 显示内容 成分名称、指示值、浓度报警等 显示成分数 5成分/1画面
(检测成分数量最大可达到20种成分) 外部输入输出 模拟输入输出(0-1Ｖ)、
数字输入输出 大小 W450×Ｄ300×Ｈ230mm 电 源 ＡＣ100-240Ｖ 50/60Ｈｚ 消耗电力 80ＶＡ※ 有关详情请进行咨询。
外形尺寸图(单位：mm)
FG-100A系列
专用采样单元装置用意。
我们为您准备了最适于半导体¿FPD工艺的专用采样单元装置。可以很容易地导入样气。为了与FG-100A系列的系统作用，我们采用了便于进行设置¿移动的带小脚轮的节省空间设计方式。
采样单元装置(可选项)和FG-100A系列气体分析仪的组合例
用途例
可以应用于广泛的领域。
用于CVD工艺(反应室清洁等)以及干蚀刻工艺的最佳化 用于PFC处理(回收、分解)装置的研究开发 用于确认除害装置的性能 用于气体生产工艺中的质量管理 用于替代PFC气体的开发 用于洁净室内环境气体的监测 用于MOCVD用液体¿固体材料气体的浓度监测 用于CVD材料的热分解特性的评估
单检测池类型
双检测池类型
用途例
可以应用于广泛的领域。
流程图(单检测池类型)
※ 我们还采用了干扰仪的N2净化技术规格。
用于CVD工艺(反应室清洁等)以及干蚀刻工艺的最佳化 用于PFC处理(回收、分解)装置的研究开发 用于确认除害装置的性能 用于气体生产工艺中的质量管理 用于替代PFC气体的开发 用于洁净室内环境气体的监测 用于MOCVD用液体¿固体材料气体的浓度监测 用于CVD材料的热分解特性的评估
单检测池类型
双检测池类型
检测例
■Pb(C11H19O2)2 原料瓶更换前后的气体光谱
■Pb(C11H19O2)2 原料瓶更换前后的气体浓度监测
■CVD反应室清洁净化用排放气体分析
可在CVD反应室的废气气线(减压下)中进行采样。利用气体浓度的监测，可以判定反应室清洁净化的界点。通过清洁净化条件的最佳化，可以取得提高生产效力以及降低气体使用量等效果。
■干蚀刻废气检测(C2F6)
■除害装置(等离子式)废气检测
进一步扩大分析用途
在尺寸大小上为小巧型设计。
单检测池和双检测池最新上市。
概要
FG-100A系列产品是可以对防止地球温暖化而需要削减的温室效应气体、PFCs等各种半导体¿FPD工艺用气体类进行各种分析的FTIR气体分析仪。
该装置力求在现场中完成高效的气体检测、实现大幅小巧化的同时，还备有单检测池类型和双检测池类型两个种类。不仅向检测点的设置¿移动非常简便，而且分析用途也多种多样。
包括最适用于半导体¿FPD工艺气体分析的软件、丰富的程序库以及可移动的采样单元装置在内，把它们作为一个总系统向您推荐。
长达50年之久HORIBA的有关环境气体分析的技术和经验支持着半导体¿FPD工艺的气体监测。
FTIR气体分析仪
FG-100A系列
技术规格
基本型号名称 FG-110A FG-120A 检测原理 FTIR法 检测器 液体氮冷却式MCT 电子冷却式MCT 检测波数范围 标准 ： 5000¿700cm-1
可选项 ： 5000¿600cm-1 标准 ： 5000¿900cm-1 检测池光路长
(检测池容积) 单检测池 ： 0.01m(6.2mL)、0.1m(62mL)、0.8m(220mL)、
2.4m(220mL)、10m(1800mL)
双检测池 ： 0.01m＋2.4m、0.01m＋0.8m、0.1m＋2.4m 检测池窗材质 标准 ： BaF2 可选项 ： ZnSe O型密封圈材质 标准 ： 氟化橡胶 可选项 ： Kalrez 配管的连接 标准 ： 1/4英寸 卡套管接口 可选项 ： 1/4英寸VCR 波数分解能 0.5、1、2、4、8、16(cm-1) 检测周期 大约0.6秒(因检测条件不同而有所差异。) 使用温度范围 10¿30℃ 使用湿度範囲 70％Rh以下 电源 AC100±10V 50/60Hz(国外技术规格另行准备) 消費电力 240VA(2.4m检测池) 250VA(2.4m检测池) 氮气 分析仪清洁用 ： 常时 5L/min左右
校正用 ： 必要时 5L/min左右
氮气条件 ： 纯度 99.99％以上、水分 -30℃饱和以下、不能有粉尘¿烟雾 液体氮 500¿600mL
(保持时间8¿10个小时) - 重量 单检测池类型 ： 40kg(2.4m检测池)
双检测池类型 ： 50kg 适用规格 CE标记、FCC第十五款(A类)
外形寸法图(单位：mm)
单检测池类型
双检测池类型
采样单元装置
FTIR气体分析仪
FG-100A系列
控制单元装置
控制单元装置 FGC-10可实现洁净室内的环境气体监测
能够适用于次ppm级低浓度气体的FG-100A系列气体分析仪和具有浓度显示功能以及输出功能的控制装置进行组合，可以不必使用电脑就能进行洁净室内的连续高灵敏度监测。通过采样线的切换进行多点监测等，可以为您提供建议从而组建各种各样的系统。利用FG-100A系列气体分析仪进行连续高灵敏度监测，可以为半导体¿FPD产业中的EHS(环境¿健康¿安全)做出贡献。
■控制单元装置 (FGC-10)技术规格 用 途 连续监测 显示内容 成分名称、指示值、浓度报警等 显示成分数 5成分/1画面
(检测成分数量最大可达到20种成分) 外部输入输出 模拟输入输出(0-1Ｖ)、
数字输入输出 大小 W450×Ｄ300×Ｈ230mm 电 源 ＡＣ100-240Ｖ 50/60Ｈｚ 消耗电力 80ＶＡ※ 有关详情请进行咨询。
外形尺寸图(单位：mm)
FG-100A系列
专用采样单元装置用意。
我们为您准备了最适于半导体¿FPD工艺的专用采样单元装置。可以很容易地导入样气。为了与FG-100A系列的系统作用，我们采用了便于进行设置¿移动的带小脚轮的节省空间设计方式。
采样单元装置(可选项)和FG-100A系列气体分析仪的组合例
用途例
可以应用于广泛的领域。
用于CVD工艺(反应室清洁等)以及干蚀刻工艺的最佳化 用于PFC处理(回收、分解)装置的研究开发 用于确认除害装置的性能 用于气体生产工艺中的质量管理 用于替代PFC气体的开发 用于洁净室内环境气体的监测 用于MOCVD用液体¿固体材料气体的浓度监测 用于CVD材料的热分解特性的评估
单检测池类型
双检测池类型
用途例
可以应用于广泛的领域。
流程图(单检测池类型)
※ 我们还采用了干扰仪的N2净化技术规格。
用于CVD工艺(反应室清洁等)以及干蚀刻工艺的最佳化 用于PFC处理(回收、分解)装置的研究开发 用于确认除害装置的性能 用于气体生产工艺中的质量管理 用于替代PFC气体的开发 用于洁净室内环境气体的监测 用于MOCVD用液体¿固体材料气体的浓度监测 用于CVD材料的热分解特性的评估
单检测池类型
双检测池类型
检测例
■Pb(C11H19O2)2 原料瓶更换前后的气体光谱
■Pb(C11H19O2)2 原料瓶更换前后的气体浓度监测
■CVD反应室清洁净化用排放气体分析
可在CVD反应室的废气气线(减压下)中进行采样。利用气体浓度的监测，可以判定反应室清洁净化的界点。通过清洁净化条件的最佳化，可以取得提高生产效力以及降低气体使用量等效果。
■干蚀刻废气检测(C2F6)
■除害装置(等离子式)废气检测
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