质量流量检验器 MFT-20
( 制造单位：HORIBA STEC有限公司)
概要
如果质量流量控制器中产生了不良现象时，为了找出原因，必须要发现构成MFC系统的SEC¿电源¿显示器¿设定器¿电缆等异常以及SEC自身的不良原因。通过MFT-20可以对驱动SEC、输入输出的电压进行监测，或者通过MFT-20的控制，检查SEC是否正常。因此，在从装置配管上卸下SEC之前，可以迅速地确认SEC的故障以及电源等的故障。并且，通过内置在主体中的电位差计也可以控制SEC。
不必卸下配管，可以简便地进行检测。 不需要电源(使用原有的信号电缆的电源) 可以阀门全开/全关闭 可以使用自动清零功能(仅装备了自动清零功能的SEC)
使用方法
电缆¿适配器 型号 适用型号 CA-H SEC-4400/7300/8000/E 系列 CA-4 SEC-400 系列质量流量检验器 MFT-20
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
技术规格 显示 DC20V满量程/LCD显示 内部标准电压 +5 VDC 电源电压 +7¿+30VDC(通常利用+15V 的MFC用电压) 消耗电流 在上述电压范围为6mA以下 重量 400 g 使用温度范围 0¿50℃
1. 外部输出端子 2. 报警显示LED 3. 转接电缆连接适配器 4. 电压显示用LCD 5. 核对点切换开关 6. 流量设定器 7. INPUT切换开关 8. 阀门控制切换开关 9. SEC选择开关 10. 自动清零开关 11. 固定用磁体
( 制造单位：HORIBA STEC有限公司)
概要
如果质量流量控制器中产生了不良现象时，为了找出原因，必须要发现构成MFC系统的SEC¿电源¿显示器¿设定器¿电缆等异常以及SEC自身的不良原因。通过MFT-20可以对驱动SEC、输入输出的电压进行监测，或者通过MFT-20的控制，检查SEC是否正常。因此，在从装置配管上卸下SEC之前，可以迅速地确认SEC的故障以及电源等的故障。并且，通过内置在主体中的电位差计也可以控制SEC。
不必卸下配管，可以简便地进行检测。 不需要电源(使用原有的信号电缆的电源) 可以阀门全开/全关闭 可以使用自动清零功能(仅装备了自动清零功能的SEC)
使用方法
电缆¿适配器 型号 适用型号 CA-H SEC-4400/7300/8000/E 系列 CA-4 SEC-400 系列质量流量检验器 MFT-20
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
技术规格 显示 DC20V满量程/LCD显示 内部标准电压 +5 VDC 电源电压 +7¿+30VDC(通常利用+15V 的MFC用电压) 消耗电流 在上述电压范围为6mA以下 重量 400 g 使用温度范围 0¿50℃
1. 外部输出端子 2. 报警显示LED 3. 转接电缆连接适配器 4. 电压显示用LCD 5. 核对点切换开关 6. 流量设定器 7. INPUT切换开关 8. 阀门控制切换开关 9. SEC选择开关 10. 自动清零开关 11. 固定用磁体
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