X射线分析显微镜 XGT-5000系列
10µm的革命 Innovation of 10µm
你能发挥该装置的真正实力。
概要
10µm的X射线。开发了独有的X射线导管(X-ray Guide Tube)，最终得以实现超¿微细X射束。可一边扫描试样，一边照射X射线，与CCD照相机和X射线检测器连动，通过光学显微镜进行观察，成功实现了使用X射线分析装置完美地完全融合元素分析的功能。它进入了与现在不同的新一代显微镜世界。＜XGT＞推动科学进入新时代。
特点 用一台装置进行各种可能性的分析。 观察后立即分析。观察到的“简单定位”。 对应从微观到宏观的多种试样。 XGT解决的、分析的各种“困难”。
X射线分析显微镜
XGT-5000系列
10µm的革命 Innovation of 10µm
你能发挥该装置的真正实力。
规格
XGT-5000
Type I
Type II
XGT系统
高灵敏度类型(空间分解能：10µm、100µm)
-
○
标准类型(空间分解能：100µm)
○可添加10µm
-
透射X射线检测器
○ (可选项) ※1
○
光学像
全体光学像观察系统
○ (可选项)
○ (×1.5～×25)
详细光学像同轴观察系统
○ (×30) ※2
○ (×100)
从光学像中指定测定位置
○
○
通用规格
X射线管
最大50 kV、1 mA、Rh目的靶
荧光X射线检测器
高纯度Si检测器(Xerophy)
检测元素
Na～U(在试样大气中)
能量范围
0～40 keV
最大测定区域/最大试样尺寸
100 ㎜×100 ㎜ / 350 ㎜×400 ㎜×40 ㎜
OS
Windows XP
软件
●定性功能 自动定性、多点分析、匹配
●定量功能 FPM定量(不标准、1点校正) 标准曲线定量
●映像分析 指定来自透射像¿荧光像的同时映像、虚假颜色、图像RGB合成、图像线分析、图像间运算、相分析(可选项)、对比度调整、透射像、荧光像、光学像的分析位置
●输出 CRT显示、打印机输出、文件输出、位图输出(可选项)、印刷版面设计(可选项)
电源
AC100 V、50/60 Hz、1.3 kVA以下
装置质量
280㎏
外形尺寸
2110(W)×1000(D)×1350(H) ㎜
周边机器
●真空泵●彩色打印机
●MO驱动(可选项)●CD-RW驱动(可选项)
●15英寸液晶监视器(可选项)●透射光照明系统(可选项)
※1 未带透射X射线检测器时，映像时也能显示透射X射线的窗口。
※2 将全体光学像观察系统添加到可选项中(×100)。
外形尺寸图 (单位：㎜)
X線分析顕微鏡
XGT-5000系列
10µm的革命 Innovation of 10µm
你能发挥该装置的真正实力。
通过一台进行各种分析的可能性。
10µm的X射束¿¿¿对好新分析的焦距。
微细10µm
通过新开发比以往的X射线集光效率高的10µmX射线导管，实现了10µmX射束强度的提高。得到比以往最多大50倍的高速测定，使其实用性得到飞跃性的提高。
简单正确定位
CCD上的观察像采用与X射束同轴的机构。这样即使是对凹凸不平的试样，其分析位置也不偏移，使观察作业和分析结果完全融合。具有良好操作性，从而综合了正确的数据。
从微观到宏观
可以测定的试样部位最小为φ10µm，最大为□10㎝，对应大范围的尺寸。可灵活对应从概览大范围的宏观分析到微观的特定部检查。
大气中的即时分析
采用将分析探针内部做成真空的构造，提高轻元素的灵敏度。结果，可以在大气中测定试样，不需要等待将试样室抽成真空，也不需要进行试样干燥处理等预处理。
荧光X射线元素分析
使用荧光X射线进行高速的元素分析。除了试样的定性¿定量分析，还能简单地进行多点分析、线分析和面分析，也可以通过相分析进行材质解析。
垂直透射分析
可获得透射X射线像，可简单地进行电子部件等的内部观察和构造解析。使用无扩散的、微细的垂直束进行扫描，例如对于圆筒形状的部件，可获得它鲜明的透射像。
内部/夹杂物分析
X射线照射可以进入试样内部，此外还有透射像，则可以获得内部的元素信息。
含水试样分析
通过使用独有的真空探针，不需要预处理就可以进行大气分析，也能够测定含有水分的植物和动物等生命体。试样无损伤，也可以用于医学、生物等领域。
X射线分析显微镜
XGT-5000系列
观察后立即分析。观察到的“简单定位”。
XGT的巨大魅力在于从光学图像得到元素分析完美的高度操作性。简单地点击三下就可以完成从试样整体像到指定要测定的10µm的点操作。从试样的设置到报告书的制作，均可以进行自然操作。
STEP1 简单样品设置
●在大气中设置。不需要预处理，可以立即进行分析。
●不需要等待抽成真空。
●便于对多个试样进行连续分析。
设置到试样台上。
将试样设置到试样台上。在这种情况下，不需要对试样进行导电处理和干燥处理等。测定位置的指定也在设置到装置上后在显示器上进行，所以不需要特地对这个时点进行定位。
设置到装置上。不需要抽成真空。
设置到装置上。这时，由于不需要抽成真空装置等预处理作业，所以在设置后可以立即进入指定测定位置作业。
在大气中分析试样。
由于试样室是大气，所以可以对不必抽成真空的试样(含水试样和生命体试样)不进行预处理就可进行分析。
STEP2 快速的扩大定位
●从全体观察到10µm分析，只需要点击三下。
●由于CCD和X射线处于同轴，所以对准位置简单精确。
●由于观察像和分析点一致，所以效率得到飞跃性提高。
全体图像中一下子就能指定目的点。 只需要点击三下就可从全体图像中指定位置。 从显示器上显示试样的全体图像到指定进行10µm高精度分析的位置只需要点击三下。
点击光学像移动试样台。 当要修正测定位置的微妙偏差时，只需要用鼠标点击光学图像，则试样台连动一起移动。不需要对其进行任何复杂操作。
移动前 移动后
STEP3 多种多样的分析方法
多点分析和线分析等，分析位置指定多种多样。 通过相分析可进行材质解析。 还具备特定试样材质的匹配功能。 映像开始画面 映像时可以一边观察显示器，一边指定区域。
多点分析
如果用点指定多个位置，则能自动收集这些位置的光谱。
线分析 可对断面分析等进行有效的线分析。
相分析(可选项)
可选项中备有“相分析”功能，可从多个元素映象中分析出“相”并加以显示。我们建议需要材质解析的用户采用此类分析。
匹配功能
从过去的数据中检索类似分析结果的光谱，根据类似程度排列显示。如果事先保存了夹杂物的数据，就能迅速判明种类。
STEP4 易懂的输出结果
输出多种多样，有光学像、映像、光谱像等。 得到的数据可自由布局并加以输出。 对布局格式进行保存管理。 数据可自由布局。 分析结果是光学图像¿光谱¿映像等均可进行自由布局，还能够与文本文档一起打印输出。
能够保存布局的格式。
设定的布局可以保存成格式。制作同种报告书时，可以不用调出格式进行布局作业而直接输出。
测定结果报告例
由于可以将光学像和荧光X射线像、透射X射线像归纳成一个文件加以保存，所以便于迅速制作报告书。
10µm的革命 Innovation of 10µm
你能发挥该装置的真正实力。
概要
10µm的X射线。开发了独有的X射线导管(X-ray Guide Tube)，最终得以实现超¿微细X射束。可一边扫描试样，一边照射X射线，与CCD照相机和X射线检测器连动，通过光学显微镜进行观察，成功实现了使用X射线分析装置完美地完全融合元素分析的功能。它进入了与现在不同的新一代显微镜世界。＜XGT＞推动科学进入新时代。
特点 用一台装置进行各种可能性的分析。 观察后立即分析。观察到的“简单定位”。 对应从微观到宏观的多种试样。 XGT解决的、分析的各种“困难”。
X射线分析显微镜
XGT-5000系列
10µm的革命 Innovation of 10µm
你能发挥该装置的真正实力。
规格
XGT-5000
Type I
Type II
XGT系统
高灵敏度类型(空间分解能：10µm、100µm)
-
○
标准类型(空间分解能：100µm)
○可添加10µm
-
透射X射线检测器
○ (可选项) ※1
○
光学像
全体光学像观察系统
○ (可选项)
○ (×1.5～×25)
详细光学像同轴观察系统
○ (×30) ※2
○ (×100)
从光学像中指定测定位置
○
○
通用规格
X射线管
最大50 kV、1 mA、Rh目的靶
荧光X射线检测器
高纯度Si检测器(Xerophy)
检测元素
Na～U(在试样大气中)
能量范围
0～40 keV
最大测定区域/最大试样尺寸
100 ㎜×100 ㎜ / 350 ㎜×400 ㎜×40 ㎜
OS
Windows XP
软件
●定性功能 自动定性、多点分析、匹配
●定量功能 FPM定量(不标准、1点校正) 标准曲线定量
●映像分析 指定来自透射像¿荧光像的同时映像、虚假颜色、图像RGB合成、图像线分析、图像间运算、相分析(可选项)、对比度调整、透射像、荧光像、光学像的分析位置
●输出 CRT显示、打印机输出、文件输出、位图输出(可选项)、印刷版面设计(可选项)
电源
AC100 V、50/60 Hz、1.3 kVA以下
装置质量
280㎏
外形尺寸
2110(W)×1000(D)×1350(H) ㎜
周边机器
●真空泵●彩色打印机
●MO驱动(可选项)●CD-RW驱动(可选项)
●15英寸液晶监视器(可选项)●透射光照明系统(可选项)
※1 未带透射X射线检测器时，映像时也能显示透射X射线的窗口。
※2 将全体光学像观察系统添加到可选项中(×100)。
外形尺寸图 (单位：㎜)
X線分析顕微鏡
XGT-5000系列
10µm的革命 Innovation of 10µm
你能发挥该装置的真正实力。
通过一台进行各种分析的可能性。
10µm的X射束¿¿¿对好新分析的焦距。
微细10µm
通过新开发比以往的X射线集光效率高的10µmX射线导管，实现了10µmX射束强度的提高。得到比以往最多大50倍的高速测定，使其实用性得到飞跃性的提高。
简单正确定位
CCD上的观察像采用与X射束同轴的机构。这样即使是对凹凸不平的试样，其分析位置也不偏移，使观察作业和分析结果完全融合。具有良好操作性，从而综合了正确的数据。
从微观到宏观
可以测定的试样部位最小为φ10µm，最大为□10㎝，对应大范围的尺寸。可灵活对应从概览大范围的宏观分析到微观的特定部检查。
大气中的即时分析
采用将分析探针内部做成真空的构造，提高轻元素的灵敏度。结果，可以在大气中测定试样，不需要等待将试样室抽成真空，也不需要进行试样干燥处理等预处理。
荧光X射线元素分析
使用荧光X射线进行高速的元素分析。除了试样的定性¿定量分析，还能简单地进行多点分析、线分析和面分析，也可以通过相分析进行材质解析。
垂直透射分析
可获得透射X射线像，可简单地进行电子部件等的内部观察和构造解析。使用无扩散的、微细的垂直束进行扫描，例如对于圆筒形状的部件，可获得它鲜明的透射像。
内部/夹杂物分析
X射线照射可以进入试样内部，此外还有透射像，则可以获得内部的元素信息。
含水试样分析
通过使用独有的真空探针，不需要预处理就可以进行大气分析，也能够测定含有水分的植物和动物等生命体。试样无损伤，也可以用于医学、生物等领域。
X射线分析显微镜
XGT-5000系列
观察后立即分析。观察到的“简单定位”。
XGT的巨大魅力在于从光学图像得到元素分析完美的高度操作性。简单地点击三下就可以完成从试样整体像到指定要测定的10µm的点操作。从试样的设置到报告书的制作，均可以进行自然操作。
STEP1 简单样品设置
●在大气中设置。不需要预处理，可以立即进行分析。
●不需要等待抽成真空。
●便于对多个试样进行连续分析。
设置到试样台上。
将试样设置到试样台上。在这种情况下，不需要对试样进行导电处理和干燥处理等。测定位置的指定也在设置到装置上后在显示器上进行，所以不需要特地对这个时点进行定位。
设置到装置上。不需要抽成真空。
设置到装置上。这时，由于不需要抽成真空装置等预处理作业，所以在设置后可以立即进入指定测定位置作业。
在大气中分析试样。
由于试样室是大气，所以可以对不必抽成真空的试样(含水试样和生命体试样)不进行预处理就可进行分析。
STEP2 快速的扩大定位
●从全体观察到10µm分析，只需要点击三下。
●由于CCD和X射线处于同轴，所以对准位置简单精确。
●由于观察像和分析点一致，所以效率得到飞跃性提高。
全体图像中一下子就能指定目的点。 只需要点击三下就可从全体图像中指定位置。 从显示器上显示试样的全体图像到指定进行10µm高精度分析的位置只需要点击三下。
点击光学像移动试样台。 当要修正测定位置的微妙偏差时，只需要用鼠标点击光学图像，则试样台连动一起移动。不需要对其进行任何复杂操作。
移动前 移动后
STEP3 多种多样的分析方法
多点分析和线分析等，分析位置指定多种多样。 通过相分析可进行材质解析。 还具备特定试样材质的匹配功能。 映像开始画面 映像时可以一边观察显示器，一边指定区域。
多点分析
如果用点指定多个位置，则能自动收集这些位置的光谱。
线分析 可对断面分析等进行有效的线分析。
相分析(可选项)
可选项中备有“相分析”功能，可从多个元素映象中分析出“相”并加以显示。我们建议需要材质解析的用户采用此类分析。
匹配功能
从过去的数据中检索类似分析结果的光谱，根据类似程度排列显示。如果事先保存了夹杂物的数据，就能迅速判明种类。
STEP4 易懂的输出结果
输出多种多样，有光学像、映像、光谱像等。 得到的数据可自由布局并加以输出。 对布局格式进行保存管理。 数据可自由布局。 分析结果是光学图像¿光谱¿映像等均可进行自由布局，还能够与文本文档一起打印输出。
能够保存布局的格式。
设定的布局可以保存成格式。制作同种报告书时，可以不用调出格式进行布局作业而直接输出。
测定结果报告例
由于可以将光学像和荧光X射线像、透射X射线像归纳成一个文件加以保存，所以便于迅速制作报告书。
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