氨浓度计 ON-96
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
概要
近年来随着LSI的高度集约化，需要高纯度的电子工业用药液。ON-96可以高精度地检测半导体工艺中使用的氨水浓度。
特点
DIN96的小巧尺寸
可以同时显示检测值和参数，也可以进行温度检测
校正曲线的补正功能
操作简单，只需要与已测溶液的1个浓度点相匹配
可以实现超纯氨水的高精度的温度补偿
传感器使用了耐热、耐蚀性良好的材质
自由电源
存储备份
规格 型号
ON-96
测量液
超纯氨水ELM等级+DIW
测量原理
根据内部测量曲线将测量到的电导率换算成NH4OH浓度
测量范围
0.00¿2.00wt%5.0¿50.0℃(只显示温度)
再现性
25℃±5℃时在±3%/FS条件下使用半导体用氨水(Mitsubishi Gas Chemical Corp.，超纯氨水ELM等级)中
传送输出
DC4¿20mA (隔离输入输出型)，最大负荷电阻500Ω
传送输出范围
0.00¿2.00wt%
调整功能
1c触点输出 2CH独立电容:AC250V,3Amax(电阻负荷)
控制操作
ON/OFF控制:上限操作(Hi)或者下限操作(Lo)(通过面板DIP开关进行选择切换)
*上、下限设定范围 量程内
*控制幅度 全刻度的0¿20%(0¿±10%)设定值，可以通过绝对值进行设定
附加功能
1)单元常数的设定
2)校正曲线补正功能
3)各种错误信息
1.传感器诊断错误 (温度传感器短路、温度传感器断线)
2.测量范围外错误 (全刻度以上、全刻度以下)
3.系统错误 (A/D变频器不良、存储器异常)
4)校正时的传送输出：连续、保持前值 (通过面板DIP开关进行选择切换)
5)温度校正功能 :1点校正
参考温度
25℃
温度补偿系数
超纯氨水， ELM等级
温度补偿范围
5至50℃
电源
AC90¿260V ，50/60Hz ，10W
构造
面板固定DIN96×96 室内安装型外盒：SPCC 面板：ABS
外形尺寸
96(W)×96(H)×145(D) 外盒深度:135mm
质量
约650g
(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
概要
近年来随着LSI的高度集约化，需要高纯度的电子工业用药液。ON-96可以高精度地检测半导体工艺中使用的氨水浓度。
特点
DIN96的小巧尺寸
可以同时显示检测值和参数，也可以进行温度检测
校正曲线的补正功能
操作简单，只需要与已测溶液的1个浓度点相匹配
可以实现超纯氨水的高精度的温度补偿
传感器使用了耐热、耐蚀性良好的材质
自由电源
存储备份
规格 型号
ON-96
测量液
超纯氨水ELM等级+DIW
测量原理
根据内部测量曲线将测量到的电导率换算成NH4OH浓度
测量范围
0.00¿2.00wt%5.0¿50.0℃(只显示温度)
再现性
25℃±5℃时在±3%/FS条件下使用半导体用氨水(Mitsubishi Gas Chemical Corp.，超纯氨水ELM等级)中
传送输出
DC4¿20mA (隔离输入输出型)，最大负荷电阻500Ω
传送输出范围
0.00¿2.00wt%
调整功能
1c触点输出 2CH独立电容:AC250V,3Amax(电阻负荷)
控制操作
ON/OFF控制:上限操作(Hi)或者下限操作(Lo)(通过面板DIP开关进行选择切换)
*上、下限设定范围 量程内
*控制幅度 全刻度的0¿20%(0¿±10%)设定值，可以通过绝对值进行设定
附加功能
1)单元常数的设定
2)校正曲线补正功能
3)各种错误信息
1.传感器诊断错误 (温度传感器短路、温度传感器断线)
2.测量范围外错误 (全刻度以上、全刻度以下)
3.系统错误 (A/D变频器不良、存储器异常)
4)校正时的传送输出：连续、保持前值 (通过面板DIP开关进行选择切换)
5)温度校正功能 :1点校正
参考温度
25℃
温度补偿系数
超纯氨水， ELM等级
温度补偿范围
5至50℃
电源
AC90¿260V ，50/60Hz ，10W
构造
面板固定DIN96×96 室内安装型外盒：SPCC 面板：ABS
外形尺寸
96(W)×96(H)×145(D) 外盒深度:135mm
质量
约650g
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