日本西格玛 SIGMA KOKI X轴不锈钢直动平台 TSDS-601C

日本西格玛光机X轴不锈钢直动平台TSDS-601C
特征：


· 其基本特性，如高刚性，高承载能力，优异的直线性和精密定位性能等，和TSD直动平台一样。
· 和一般钢质或铝质平台相比，不锈钢平台有很多优点。它强度非常好，经久耐用，抗冲击，耐磨损，适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理，其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于真空或密封性要求高的场合。

规格：




型号

台面尺寸（mm）

行程
[mm]

螺距
[mm/rotation]
移动


度;直线度
[mm]

移动精度;俯仰
[arcsec]

移动精度;左右摆动
[arcsec]

平行度
[mm]

移动平行度
[mm]

最小读数
[mm

最小分辨率
[mm]

承载能力Fz'
[N]

最大承载力矩Fx'
[N¿m]

最大承载力矩Fy'
[N¿m]

最大承载力矩Fθ'
[N¿m]

刚性

Fx'

[秒/N¿m]

刚性

Fy'
[秒/N¿m]

自重
[Kg]



TSD-60161SDM

60x160

粗：±3.5

微：

±

3

粗：5

微：

±

0.5

0.005

25

15

0.05

0.015

0.01

0.003
490(50.0kgf)

29.4

9.8

14.7

0.07

0.2

1.3



TSD-10161SDM

100x160

粗：±3.5

微：

±

3

粗：5

微：

±

0.5

0.005

25

15

0.05

0.015

0.01

0.003
686(70.0kgf)

51

41.7

19.6

0.03

0.03

2.5



TSDS-251C









25x25



±3

0.5

0.002

30

25

0.03

0.01

0.01

0.003
39.2(40.0kgf)

2

2.5

1

1.8

1.6

0.07



TSDS-251S

±3

0.5

0.002

35

35

0.03

0.01

0.01

0.003
39.2(40.0kgf)

2

2.5

1

1.8

1.6

0.07



TSDS-401C

40x40

±6.5

0.5

0.002

30

25

0.03

0.01

0.01

0.003
147(15.0.kgf)

3.9

3.9

2.5

0.36

0.3

0.2



TSDS-401S

±6.5

0.5

0.002

30

25

0.03

0.01

0.01

0.003
147(15.0.kgf)

3.9

3.9

2.5

0.36

0.3

0.2



TSDS-601C

60x60

±6.5

0.5

0.002

25

15

0.03

0.01
0.01

0.003
294(30.0.kgf)

8.8

9.8

4.9

0.2

0.2

0.5





TSDS-601S

±6.5

0.5

0.002

25

15

0.03

0.01

0.01

0.003
294(30.0.kgf)

8.8

9.8

4.9

0.2

0.2

0.5