特征:
平台与Z轴连接板加工在一体的XYZ轴TSD不锈钢直动平台。
其基本特性,如高刚性,高承载能力,优异的直线性和精密定位性能等,和TSD直动平台一样。
和一般钢质或铝质平台相比,不锈钢平台有很多优点。它强度非常好,经久耐用,抗冲击,耐磨损,适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理,其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄,密封性高的场合。
'L型的Z轴的操作部位于上方,因此不受安装方向的限制,具有很好的操作性能。
技术参数:
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
移动精度直线度
[mm]
最小读数
[mm]
最小分辨率
[mm]
承载能力Fz'
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fθ'
[N¿m]
刚度Fx"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSDS-255CL
25 x 25
±3
0.5
0.002
0.01
0.003
9.8 (1.0kgf)
1
0.7
6.7
0.2
TSDS-255SL
25 x 25
±3
0.5
0.002
0.01
0.003
9.8 (1.0kgf)
1
0.7
6.7
0.2
TSDS-405CL
40 x 40
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.003
19.6 (2.0kgf)
1.3
1.3
1.26
0.6
TSDS-405SL
40 x 40
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.003
19.6 (2.0kgf)
1.3
1.3
1.26
0.6
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