日本西格玛中空型XY压电陶瓷平台SFS-120XY(WA)
特征：
它是一种具有50 x 50mm 通孔的高精度定位平台。 它采用压电陶瓷作为驱动器，并内置小位移传感器。 适用控制器为FINE-503。该控制器具有RS232C，GP-IB 和USB 接口。 可以很容易地通过计算机，利用我们独自开发的应用软件SGEMCS，SGTERMS，SGSFSX 进行控制。 此平台是显微镜用移动台，精密测量，表面结构分析，半导体测试装置，精密掩模及半导体晶圆的调整；扫描型干涉仪，高分辨率图像处理及生物系统等的理想选择。 不同类型的显微镜，有时其安装方法也有所不同。 在您垂询时，请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称，型号以及物镜型号。 我们可以为您定做其它各种显微镜的连接用适配器。
规格：
开口部（mm）
重量【kg】
理论分辨率（开环时）【nm】
分辩率（闭环时）【nm】
直线性误差（%）
直线度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】
重复定位精度【um】
承载能力【kg】
微小变换检测
调节器
型号
台面尺寸(mm)
50x50
1.2
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
2
数显检测
压电石英晶体
SFS-120XY
120x120
特征：
它是一种具有50 x 50mm 通孔的高精度定位平台。 它采用压电陶瓷作为驱动器，并内置小位移传感器。 适用控制器为FINE-503。该控制器具有RS232C，GP-IB 和USB 接口。 可以很容易地通过计算机，利用我们独自开发的应用软件SGEMCS，SGTERMS，SGSFSX 进行控制。 此平台是显微镜用移动台，精密测量，表面结构分析，半导体测试装置，精密掩模及半导体晶圆的调整；扫描型干涉仪，高分辨率图像处理及生物系统等的理想选择。 不同类型的显微镜，有时其安装方法也有所不同。 在您垂询时，请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称，型号以及物镜型号。 我们可以为您定做其它各种显微镜的连接用适配器。
规格：
开口部（mm）
重量【kg】
理论分辨率（开环时）【nm】
分辩率（闭环时）【nm】
直线性误差（%）
直线度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】
重复定位精度【um】
承载能力【kg】
微小变换检测
调节器
型号
台面尺寸(mm)
50x50
1.2
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
2
数显检测
压电石英晶体
SFS-120XY
120x120
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