SIGMA KOKI西格玛光机 XYZθαβ轴TSD直动平台产品描述
特征：
6轴方向微调精密平台。
XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄轴承钢制平台，θ轴粗微调转动平台，小型αβ轴摆动平台，与αβ轴摆动平台组成。
型号末尾为SC的平台的XY轴平台的测微头在中间，末尾为ES的平台的XY轴平台的测微头在侧面。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm
转动范围
摆动角度范围
[°]
摆动中心高度
[mm]
承载能力Fz分
[N]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-40EC
40 x 40
XY轴：±6.5
Z轴：±3
粗调：360
微调：±5
α轴±15
β轴±20
35
49.0 （5.0kgf）
-
1.23
TSD-40ES
40 x 40
XY轴：±6.5
Z轴：±3
粗调：360
微调：±5
α轴±15
β轴±20
35
49.0 （5.0kgf）
-
1.23
TSD-60EC
60 x 60
XY轴：±6.5
Z轴：±5
粗调：360
微调：±5
α轴±10
β轴±15
84
98.1 （10.0kgf）
-
4.95
TSD-60ES
60 x 60
XY轴：±6.5
Z轴：±5
粗调：360
微调：±5
α轴±10
β轴±15
84
98.1 （10.0kgf）
-
4.95
特征：
6轴方向微调精密平台。
XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄轴承钢制平台，θ轴粗微调转动平台，小型αβ轴摆动平台，与αβ轴摆动平台组成。
型号末尾为SC的平台的XY轴平台的测微头在中间，末尾为ES的平台的XY轴平台的测微头在侧面。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm
转动范围
摆动角度范围
[°]
摆动中心高度
[mm]
承载能力Fz分
[N]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-40EC
40 x 40
XY轴：±6.5
Z轴：±3
粗调：360
微调：±5
α轴±15
β轴±20
35
49.0 （5.0kgf）
-
1.23
TSD-40ES
40 x 40
XY轴：±6.5
Z轴：±3
粗调：360
微调：±5
α轴±15
β轴±20
35
49.0 （5.0kgf）
-
1.23
TSD-60EC
60 x 60
XY轴：±6.5
Z轴：±5
粗调：360
微调：±5
α轴±10
β轴±15
84
98.1 （10.0kgf）
-
4.95
TSD-60ES
60 x 60
XY轴：±6.5
Z轴：±5
粗调：360
微调：±5
α轴±10
β轴±15
84
98.1 （10.0kgf）
-
4.95
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