SIGMA KOKI西格玛光机 XYZθα轴TSD直动平台产品描述
特征：
5轴方向微调精密平台。
由XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄轴承钢制平台，θ轴粗微调转动平台，小型α轴摆动平台，与α轴摆动平台组成。
型号末尾为DC的平台的XY轴平台的测微头在中间，末尾为DS的平台的XY轴平台的测微头在侧面。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm
转动范围
摆动角度范围
[°]
摆动中心高度
[mm]
承载能力Fz分
[N]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-40DC
40 x 40
XY轴：±6.5
Z轴：±3
粗调：360
微调：±5
±15
51
49.0 （5.0kgf）
4.6
1.03
TSD-40DS
40 x 40
XY轴：±6.5
Z轴：±3
粗调：360
微调：±5
±15
51
49.0 （5.0kgf）
4.6
1.03
TSD-60DC
60 x 60
XY轴：±6.5
Z轴：±5
粗调：360
微调：±5
±10
115
98.1 （10.0kgf）
1.5
4.03
TSD-40DS
60 x 60
XY轴：±6.5
Z轴：±5
粗调：360
微调：±5
±10
115
98.1 （10.0kgf）
1.5
4.03
特征：
5轴方向微调精密平台。
由XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄轴承钢制平台，θ轴粗微调转动平台，小型α轴摆动平台，与α轴摆动平台组成。
型号末尾为DC的平台的XY轴平台的测微头在中间，末尾为DS的平台的XY轴平台的测微头在侧面。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm
转动范围
摆动角度范围
[°]
摆动中心高度
[mm]
承载能力Fz分
[N]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-40DC
40 x 40
XY轴：±6.5
Z轴：±3
粗调：360
微调：±5
±15
51
49.0 （5.0kgf）
4.6
1.03
TSD-40DS
40 x 40
XY轴：±6.5
Z轴：±3
粗调：360
微调：±5
±15
51
49.0 （5.0kgf）
4.6
1.03
TSD-60DC
60 x 60
XY轴：±6.5
Z轴：±5
粗调：360
微调：±5
±10
115
98.1 （10.0kgf）
1.5
4.03
TSD-40DS
60 x 60
XY轴：±6.5
Z轴：±5
粗调：360
微调：±5
±10
115
98.1 （10.0kgf）
1.5
4.03
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