采用真空镀膜法,在平面基板表面,镀上一层铝膜而成的全反射镜。
从可见光到红外,此类产品都有很高的反射率,而且几乎不受入射角的影响。
可以提供纯铝膜反射镜和覆盖了氟化镁(MgF2)或二氧化硅(SiO2)保护膜的铝膜反射镜。
氟化镁(MgF2)保护膜防止划伤及氧化。但其反射率比纯铝膜要低一些。
以可见光波长段的反射率最大为目标,对氟化镁(MgF2)保护膜进行了优化设计。
向导
镀多层电介质膜代替氟化镁保护膜,这样可提高反射率5%左右。尽管层数不多,但因是电介质多层膜,制造时需要指定使用的波长,入射角等参数。
控制铝膜反射镜的氟化镁(MgF2)保护膜的厚度,可以实现在紫外区域达到最大的反射率(约85%)。
注意
反射率曲线是样品的实测值,而且可能随制造批次不同而变化。
检查光路和调整光轴时,请一定戴好激光防护镜。
面精度是镀膜前的反射波面精度。
Pyrex¿(派来克斯玻璃)是康宁公司的注册商标。
材料
BK7
SFS(人造熔融石英玻璃)
Pyrex¿(派来克斯玻璃¿)
光学膜
Al+MgF2(铝膜+氟化镁保护膜) :TFA,TFAQ (λ/4, λ/10)
Al+SiO(铝膜+氧化硅保护膜) :TFA,TFAQ (λ/20)
Al (铝膜) :TFAN,TFAQN
面精度测量法
采用ZYGO公司激光干涉仪测量基板
面精度测量用波长
632.8nm
平行度
≤3分
表面质量
40-20
有效尺寸范围
实际尺寸的90%
入射角
45°
技术参数:
型号
类型
寸尺
[mm]
t
[mm]
材料
面精度
反面状态
TFA-50C08-10
圆形
¿50
8
BK7
λ/10
光面
TFAQ-50C10-20
圆形
¿50
10
SFS
λ/20
光面
TFAQN-50C10-20
圆形
¿50
10
SFS
λ/20
光面
TFA-60C10-1
圆形
¿60
10
Pyrex¿
λ
光面
TFAN-60C10-1
圆形
¿60
10
Pyrex¿
λ
光面
TFA-60C10-4
圆形
¿60
10
Pyrex¿
λ/4
光面
TFAN-60C10-4
圆形
¿60
10
Pyrex¿
λ/4
光面
TFA-60S10-4
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/4
光面
TFAN-60S10-4
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/4
光面
TFA-60S10-10
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/10
光面
TFAN-60S10-10
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/10
光面
TFA-60S10-20
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/20
光面
TFAN-60S10-20
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/20
光面
TFA-80S12-1
方形
□80
12
Pyrex¿
λ
光面
TFAN-80S12-1
方形
□80
12
Pyrex¿
λ
光面
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