SIGMA KOKI西格玛光机θXY轴TSD直动平台产品描述
特征：
３轴微调精密平台。
由XY轴轴承钢制平台与θ轴转动平台组成。
本产品把θ轴转动平台安装在XY平台的上面，使用XY平台调整转动中心的位置。（比如，调整显微镜尺矩板的中心。）
XY轴平台的测微头在平台侧面，不占空间。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
转动范围
[°]
承载能力Fz分
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
刚度Fx"
[arcsec/N¿cm]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-258S
25 x 25
（θXY轴））
XY轴：±3
粗调：360
微调：±5
39.2 （4.0kgf
0.3
0.3
-
-
0.4
TSD-258S
40 x 40
（θXY轴）
XY轴：±6.5
粗调：360
微调：±5
68.6 （7.0kgf）
0.4
0.4
-
-
0.9
TSD-608S
40 x 40
（θXY轴）
XY轴：±12.5
粗调：360
微调：±5
147.0 （15.0kgf）
2
2
-
-
2.2
特征：
３轴微调精密平台。
由XY轴轴承钢制平台与θ轴转动平台组成。
本产品把θ轴转动平台安装在XY平台的上面，使用XY平台调整转动中心的位置。（比如，调整显微镜尺矩板的中心。）
XY轴平台的测微头在平台侧面，不占空间。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
转动范围
[°]
承载能力Fz分
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
刚度Fx"
[arcsec/N¿cm]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-258S
25 x 25
（θXY轴））
XY轴：±3
粗调：360
微调：±5
39.2 （4.0kgf
0.3
0.3
-
-
0.4
TSD-258S
40 x 40
（θXY轴）
XY轴：±6.5
粗调：360
微调：±5
68.6 （7.0kgf）
0.4
0.4
-
-
0.9
TSD-608S
40 x 40
（θXY轴）
XY轴：±12.5
粗调：360
微调：±5
147.0 （15.0kgf）
2
2
-
-
2.2
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