SIGMA KOKI西格玛光机XYθ轴TSD直动平台产品描述
特征：
３轴微调精密平台。
由XY轴轴承钢制平台与θ轴转动平台组成。
本产品把θ轴转动平台安装在XY平台的上面，使用XY平台调整转动中心的位置。（比如，调整显微镜尺矩板的中心。）
XY轴平台的测微头在平台侧面，不占空间。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
转动范围
[°]
承载能力Fz分
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
刚度Fx"
[arcsec/N¿cm]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-407S
¿40
（XYθ轴）
XY轴：±6.5
粗调：360
微调：±5
49.0 （5.0kgf）
0.3
0.3
2.2
2.2
0.6
TSD-607S
¿60
（XYθ轴）
XY轴：±6.5
粗调：360
微调：±5
68.6 （7.0kgf）
0.4
0.4
1.5
1.5
1.4
TSD-807S
¿60
（XYθ轴）
XY轴：±12.5
粗调：360
微调：±5
58.8 （6.0kgf）
1
1
1
1
1.9
TSD-1007S
¿100
（XYθ轴）
XY轴：±12.5
粗调：360
微调：±5
68.6 （7.0kgf）
1
1
0.91
0.91
3.3
TSD-1207SH
¿120
（XYθ轴透過型）
XY轴：±20
粗调：360
微调：±5
196.0 （20.0kgf）
9.8
9.8
0.22
0.22
4.2
特征：
３轴微调精密平台。
由XY轴轴承钢制平台与θ轴转动平台组成。
本产品把θ轴转动平台安装在XY平台的上面，使用XY平台调整转动中心的位置。（比如，调整显微镜尺矩板的中心。）
XY轴平台的测微头在平台侧面，不占空间。
技术参数：
型号
台面尺寸
[mm]
行程
[mm]
转动范围
[°]
承载能力Fz分
[N]
最大承载力矩Fx'
[N¿m]
最大承载力矩Fy'
[N¿m]
刚度Fx"
[arcsec/N¿cm]
刚度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-407S
¿40
（XYθ轴）
XY轴：±6.5
粗调：360
微调：±5
49.0 （5.0kgf）
0.3
0.3
2.2
2.2
0.6
TSD-607S
¿60
（XYθ轴）
XY轴：±6.5
粗调：360
微调：±5
68.6 （7.0kgf）
0.4
0.4
1.5
1.5
1.4
TSD-807S
¿60
（XYθ轴）
XY轴：±12.5
粗调：360
微调：±5
58.8 （6.0kgf）
1
1
1
1
1.9
TSD-1007S
¿100
（XYθ轴）
XY轴：±12.5
粗调：360
微调：±5
68.6 （7.0kgf）
1
1
0.91
0.91
3.3
TSD-1207SH
¿120
（XYθ轴透過型）
XY轴：±20
粗调：360
微调：±5
196.0 （20.0kgf）
9.8
9.8
0.22
0.22
4.2
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