特点与用途：
USHIO超高压水银灯管是在紫外线波长领域中、特别是有效的使用了3线（436nm、405nm、365nm)的具有长寿命、高稳定性、高辉度光源。并且因Arc尺寸接近点光源，在光学系上光集中· 扩散容易，故可得到均一的照度分布。
特点：
1、 具有以特定波长（g线、i线等）为波峰的辉线光谱。
2、发光体小、辉度高（接近点光源）。
用途：
1、 复写机
2、晶圆曝光
3、晶圆周边曝光
4、液晶曝光
5、印制基板曝光
7、MASK制作机
8、固化
9、UV接着
10、荧光显微镜
11、ESR分光光度计
12、纺丝照明装置
13、玻璃伤检查
14、晶圆伤检查
规格如下:
USHIO超高压水银灯管是在紫外线波长领域中、特别是有效的使用了3线（436nm、405nm、365nm)的具有长寿命、高稳定性、高辉度光源。并且因Arc尺寸接近点光源，在光学系上光集中· 扩散容易，故可得到均一的照度分布。
特点：
1、 具有以特定波长（g线、i线等）为波峰的辉线光谱。
2、发光体小、辉度高（接近点光源）。
用途：
1、 复写机
2、晶圆曝光
3、晶圆周边曝光
4、液晶曝光
5、印制基板曝光
7、MASK制作机
8、固化
9、UV接着
10、荧光显微镜
11、ESR分光光度计
12、纺丝照明装置
13、玻璃伤检查
14、晶圆伤检查
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