特点
经过长年的实验，利用热解析技术设计而成的具有良好的温度均一性的电热板。 考虑到要在清洁环境、真空环境中使用，电热板材料用铝、加热器及周边元件用不锈钢制成。 电热板的表面用硬质氧化铝膜处理法进行了处理，因而具有良好的耐腐蚀性和良好的耐磨损性。
应用
CVD热处理 晶片加热 电子元件加热
外形·尺寸·规格
真空用
电热板材料 ：A5052(铝)表面进行氧化铝膜处理
加热器外壳材料 ：SUS321（不锈钢）
真空密封元件材料：SUS304（不锈钢）
最高使用温度 ：300℃
表面粗糙度 ：6.3s以内
平面度 ：0.1mm以下
附属温度传感器 ：K型外壳 直径3.2
漏失量 ：1×10¯8Pam3/秒以下
用于真空中的圆形电热板 （接受订货生产产品）
型号
商品代码
电 压
功 率
A尺寸
温度均一性
重 量
HPC2107
02011515
200V
750W
180
ф160以内
300℃时 ±3℃
约3 kg
HPC2110
02011525
1KW
HPC2210
02011535
1KW
230
ф210以内
300℃时 ±3℃
约4 kg
HPC2215
02011545
1.5KW
HPC2320
02011555
2KW
330
ф310以内
300℃时 ±3℃
约6kg
HPC2330
02011565
3KW
※ 0.0001Pa真空容器内，无负荷状态下的值。与使用条件有较大差别。
·温度控制使用HP控制器 HMC2112（1频道）、HMC2212（2频道） （P210）。
·也可以制造标准尺寸规格以外的产品。
经过长年的实验，利用热解析技术设计而成的具有良好的温度均一性的电热板。 考虑到要在清洁环境、真空环境中使用，电热板材料用铝、加热器及周边元件用不锈钢制成。 电热板的表面用硬质氧化铝膜处理法进行了处理，因而具有良好的耐腐蚀性和良好的耐磨损性。
应用
CVD热处理 晶片加热 电子元件加热
外形·尺寸·规格
真空用
电热板材料 ：A5052(铝)表面进行氧化铝膜处理
加热器外壳材料 ：SUS321（不锈钢）
真空密封元件材料：SUS304（不锈钢）
最高使用温度 ：300℃
表面粗糙度 ：6.3s以内
平面度 ：0.1mm以下
附属温度传感器 ：K型外壳 直径3.2
漏失量 ：1×10¯8Pam3/秒以下
用于真空中的圆形电热板 （接受订货生产产品）
型号
商品代码
电 压
功 率
A尺寸
温度均一性
重 量
HPC2107
02011515
200V
750W
180
ф160以内
300℃时 ±3℃
约3 kg
HPC2110
02011525
1KW
HPC2210
02011535
1KW
230
ф210以内
300℃时 ±3℃
约4 kg
HPC2215
02011545
1.5KW
HPC2320
02011555
2KW
330
ф310以内
300℃时 ±3℃
约6kg
HPC2330
02011565
3KW
※ 0.0001Pa真空容器内，无负荷状态下的值。与使用条件有较大差别。
·温度控制使用HP控制器 HMC2112（1频道）、HMC2212（2频道） （P210）。
·也可以制造标准尺寸规格以外的产品。
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